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高精度主動減振平臺產品介紹(shao):
在3D空間的6個自由度中主動式隔振 從0.7 Hz 到100 Hz
在21世紀納米技術(shu)(即先進的(de)半導體代表(biao)相(xiang)關的(de)信息(xi)技術(shu),基因療法(fa)等(deng)生命(ming)科學相(xiang)關技術(shu),原子(zi)或(huo)分子(zi)處理如MEMS和工(gong)程技術(shu)等(deng)新(xin)材料(liao)生產), 振動、噪聲(sheng)、電磁領域、熱(re)、濕度、干擾等(deng)是測量環境的(de)抑制因素。
在納米技(ji)術中,為(wei)了(le)獲得(de)可靠的結果,使用(yong)充(chong)氣被動(dong)隔(ge)振臺無法隔(ge)離低頻振動(dong),此時需要(yao)主動(dong)隔(ge)離。
先進的主(zhu)動式隔振系統“TS 系列” 將(jiang)作為21世紀納米技(ji)術(shu)的隔振技(ji)術(shu)基礎。它(ta)將(jiang)有助于發展目(mu)前的技(ji)術(shu)和測量、創新(xin)和發展未知的技(ji)術(shu)。
裝載設(she)備:
掃描電(dian)子顯微鏡,如 AFM 3D表面(mian)分(fen)析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面(mian)張力測量系統(tong),顯微硬(ying)度測量儀,醫療檢測設備等。
高精度主動減振平臺特點:
1、在全部的(de)6個自由度范圍內,從(cong)0.7Hz到100Hz,TS系(xi)列產品(pin)提供(gong)優良的(de)主動(dong)隔振性能。
2、當(dang)儀器裝載時,高度(du)調整會自動進行。
3、即(ji)使當負(fu)載偏離中心時,自動(dong)調平功能也(ye)能保(bao)持水準(zhun)。當高重心的(de)儀器被加載時,給予穩(wen)定性。
4、通過(guo)按(an)下前(qian)方的(de)按(an)鈕,系(xi)統可以(yi)鎖(suo)定或者解(jie)鎖(suo)。鎖(suo)定功(gong)能可以(yi)防止在系(xi)統重新(xin)加載或傳(chuan)輸中發生損壞。
5、前(qian)方(fang)的顯示(shi)屏(ping)展示(shi)了在X,Y和Z方(fang)向的實(shi)際振動水平。
6、主動隔振也可(ke)以通過使用(yong)可(ke)選的遠程控制箱來從外部啟用(yong)或(huo)禁用(yong)。(單獨(du)出售) 有關詳情,請與我們聯系(xi)。
TS應用案例
Herz系列產品創建穩定的測量(liang)環境(jing)
支持改善TS的隔(ge)振性能
主動式(shi)隔振(zhen)系(xi)(xi)統控制水平和垂(chui)直方向20μm的振(zhen)動振(zhen)幅(fu)。如(ru)果工作(zuo)臺或(huo)桌面不夠堅硬,TS系(xi)(xi)列(lie)(lie)產(chan)品(pin)的隔振(zhen)性能將會降低,或(huo)者(zhe)振(zhen)動會放(fang)大。我(wo)們提供具有內置(zhi)阻尼功能的剛性框架,以實現TS系(xi)(xi)列(lie)(lie)產(chan)品(pin)的理想性能。
帶有鉆(zhan)孔(kong)(kong)和螺(luo)紋孔(kong)(kong)的安裝(zhuang)板
此安裝板由磁鐵不銹鋼(gang)和鋁(lv)制成。定制的鉆孔位置可以根據要求(qiu)提供。
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