美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

??在(zai)襯底(di)鍍(du)(du)上不(bu)(bu)同的(de)(de)(de)薄膜(mo)后, 因為兩者材(cai)質不(bu)(bu)一(yi)樣，以及(ji)不(bu)(bu)同的(de)(de)(de)材(cai)料不(bu)(bu)同溫度下特(te)性(xing)(xing)不(bu)(bu)一(yi)樣, 所以會引起應(ying)力(li)。 如應(ying)力(li)太大(da)會引起薄膜(mo)脫落, 引致組(zu)件失效或可靠性(xing)(xing)不(bu)(bu)佳的(de)(de)(de)問題。 薄膜(mo)應(ying)力(li)激(ji)光(guang)測量(liang)儀(yi)利用激(ji)光(guang)測量(liang)樣本的(de)(de)(de)形貌(mao),透過比(bi)較(jiao)鍍(du)(du)膜(mo)前后襯底(di)曲(qu)率半徑的(de)(de)(de)變化, 以Stoney’s Equation計算出應(ying)力(li), 是品檢及(ji)改進(jin)工(gong)藝的(de)(de)(de)有/效手(shou)段(duan)。

??1) 快速、非接觸式測量

??2) 128型號適用于3至8寸晶圓

??128L型(xing)號適(shi)用于12寸晶圓

??128G 型號適用于470 X 370mm樣品，

??另(ling)可按要(yao)求訂做不(bu)同尺寸的樣品臺

??3) 雙激光自動轉換技術

??如某一波長激光在(zai)樣本反(fan)射度不(bu)足，系統會自(zi)動使用

??另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料(liao)的應(ying)用

??4) 全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄(miao)(可選)

??5) 可加入更(geng)多(duo)功(gong)能滿足研發(fa)的需求

??電介質厚度測量

??6) 500 及(ji) 900°C高溫型號可選

??7) 樣品上有圖案(an)亦適(shi)用

美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規格

??1) 測量(liang)方式(shi): 非(fei)接(jie)觸式(shi)(激光(guang)掃瞄(miao))

??2) 樣本尺寸:

??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

??FSM 128G: /大550×650 mm

??3) 掃瞄方式(shi): 高精度單(dan)次(ci)掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

??4) 激光強度(du): 根(gen)據樣(yang)本(ben)反射度(du)自動調節

??5) 激光波(bo)(bo)長(chang): 650nm及780nm自動切換(huan)(其它(ta)波(bo)(bo)長(chang)可(ke)選)

??6) 薄膜應力(li)范圍: 1 MPa — 4 GPa

??(硅片(pian)翹曲或彎曲度變化大(da)于1 micron)

??7) 重(zhong)復(fu)性(xing): 1% (1 sigma)*

??8) 準確度: ≤ 2.5%

??使用20米半徑球面鏡

??9) 設備尺寸及重量:

??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

??電源 : 110V/220V, 20A