FilmSense多波段橢偏儀FS-1介紹

　　創新的

　　FilmSense FS-1多波段橢偏儀使用長壽命LED光源設計，使用壽命大于5000小時，同時FS-1的設計結構沒有轉動部件以確保設備的穩定性。總的來講，FS-1是一臺簡單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。

　　強大的

　　大多數透明薄膜的膜厚度從0-1000nm都可以測量，FS-1提供不錯的準確度與良好的穩定性，而且在1秒時間內就可以得到測量結果，同時光學常數n和k和其他性能也可以測量。

　　負擔得起的

　　FS-1是多波段橢偏儀，但用戶可以用相當于單波長橢偏儀或光譜反射儀系統的價格，卻得到多波長橢偏儀的品質。FS-1可用于實驗室研究，教學，在線制程監控，工業品質控制等應用。

什么是橢偏儀

　　橢偏儀是測量樣品反射光偏振態的變化。橢偏測量是由下面的公式量化，是相位差。ρ是反射光的偏振光Rp和偏振光Rs的反射率比。橢偏儀ψ參數是和ρ的大小有關，Δ參數是相位復合比。

 用橢偏數據來分析確定感興趣的樣品參數，如薄膜厚度和折射率，光學模型等

　　橢偏儀的優點：

　　1、橢偏儀是測量比率，所以它對光束強度的變化，或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。

　　2、橢偏儀在每個波長測量2個量(Ψ and Δ)，可以確定2個定量比如薄膜厚度，以及光學常數或基底的折射系數和消光系數。

　　3、橢偏儀對薄膜Δ參數相位差極其敏感，能夠準確的測量薄膜厚度低至0Å。

　　FilmSense多波段橢偏儀FS-1主要特點：

　　1、四種LED光源：藍色(465nm)、綠(525nm)，黃色(580nm)，紅色(635nm)

　　2、在沒有運動部件的橢偏儀

　　3、優異的厚度測量精度，優于0.001nm的樣品(1秒獲得測量結果)，甚至適用于亞單原子層膜的厚度

　　4、集成計算機儀器控制和數據分析，任何電腦，臺式機，手提都可以從web瀏覽器界面獲得數據

　　優點

　　1.長壽命(>50000小時)，不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時校正或周期維護。

　　2.快速多次測量(多波長數據在10毫秒)且長期可靠性

　　3.測量精度只有用橢偏儀才能達到

　　4.沒有復雜的軟件設置和維護

　　表現

　　FS-1測量透明單層膜的厚度和折射率,厚度測量范圍從0到1000nm.經典的FS-1對多種樣品都能提供穩定的測量，包括多層膜。如下表所示。如需有關測量技術和更多細節，請聯系Film Sense并要求我們提供測量報告。

　　FS-1多波長橢偏儀優點

　　1.寬范圍膜厚測量功能，對于透明膜至少可達1μm(無厚度周期性問題)。

　　2.測量更多的樣品參數，如：表面粗糙度，多膜厚度，折射率色散。

　　3.提供一致性檢驗數據，分析一個合格?分析模型，該模型適用于四個波長的數據。

　　技術

　　1.多波長的橢偏技術

　　2.光學模型補償的LED帶寬

　　3.具備光束不對位的補償功能

　　4.模型驗證功能

　　應用

　　1、FS – 1是多波長橢偏儀，但用戶可以用相當于單波長橢偏儀或光譜反射儀系統的價格，卻得到多波長橢偏儀的品質。FS -1可用于實驗室研究，教學，在線制程監控，工業品質控制等應用。

　　2、半導體行業：硅的氧化物和氮化物，高和低k介質、多晶和非晶硅薄膜，光刻膠

　　3、光學涂覆工業：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。

　　4、顯示行業：導電層(如ITO)，非晶硅薄膜、有機薄膜(OLED技術)

　　5、數據存儲產業：類金剛石薄膜

　　6、R&D 工序：薄膜沉積的原位表征(速率和光學常數)對應工藝條件的變化值，適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。

　　7、化學和生物：亞-單層材料吸附液體中的細胞實驗檢測

　　8、工業：在線監測和控制薄膜的厚度

　　光譜測量(通過光譜橢偏儀或光譜反射)有可能描述單個薄膜表征樣品或2、3層膜結構。FS-1軟件里的模型驗證功能也可以成功確定一個特定的樣本結構。

　　原位的能力

　　1.亞原子單層厚度精度

　　2.在真空環境中，測量多種工藝條件下薄膜光學常數n&k值以及沉積速率

　　3.監視和控制多層膜結構的沉積

　　4.FS?API接口為外部軟件控制(LabVIEW兼容)

　　5.適用于大多數的薄膜沉積技術:濺射,ALD,MBE,MOCVD,電子束蒸發等。

 原位檢測功能

　　FS-1是理想的原位實時監測和控制薄膜沉積工藝的設備

　　1.LED光源和無運動部件檢測器，堅固可靠，快速測量

　　2.結構緊湊，重量輕的光源和檢測器單元(≈每個1公斤)

　　3.可選的適配器安裝在標準的2.75?或1.33?的Conflat法蘭(可以在不關閉真空的條件下進行安裝)

　　4.易于調整平臺傾斜

 聚焦光束檢測

　　聚焦光束檢測系統結合了FS-1多波長的橢偏儀的聚焦光學系統和手動轉換平臺。該系統是半導體晶圓圖案的手動檢查和質量控制測量理想的工具。

　　•小光斑尺寸和相機成像運行

　　•手動轉換平臺，容納4，5，和6晶圓直徑。

　　•樣品上的光束大小：0.3×0.7毫米

　　•視頻觀察樣品上光束位置

       軟件

　　FS-1軟件獲得了橢偏數據，并報告樣本參數(厚度、折射率，等等)，都源于測量。FS-1軟件運行在電腦里面的FS-1探測器單元，和一個標準的Web瀏覽器提供了軟件的用戶界面。任何臺式機，筆記本電腦，或平板電腦，支持現代Web瀏覽器(Windows，Mac OS X，Linux，iOS，Android)可以使用以太網連接操作的FS1(沒有互聯網和Web訪問的情況 下)。從Web瀏覽器界面通訊主要優點是，無需安裝軟件，從而大大簡化了FS-1的安裝與操作設置。

　　單一的測量模式使得常規樣品測量如點擊按鈕一樣容易。

模型驗證器驗證所有的模型擬合參數將*地收斂在 的范圍內。

分析模型的模式提供了強大的功能來分析和可視化 的FS-1橢偏數據。

特征

　　1、常規的樣品檢測，原位多層膜監控，多樣品測量，和軌跡數據分析模式.

　　2、多達10個模型層，與可選的表面粗糙度，和襯底背面校正分析功能。

　　3、參數范圍和初增量以提高擬合參數的匹配性.

　　4、Bruggeman介電常數近似以理論用于混合材料以及分級指標層分析

　　5、柯西和Sellmeier色散模型。

　　6、溫度或成分相關的光學常數庫文件。

　　7、去極化或透射強度數據可以結合多波長數據分析。

　　8、模擬單一測量或動態數據。

 關于我們

　　Film Sense---擁有超過20年行業經驗的橢偏儀制造商。20年如一日的嚴謹，為的是創造出的橢偏儀系統，為廣泛范圍的薄膜應用提供不錯的測量解決方案。