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LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的(de)一款(kuan)化合物半導體SiC、GaN晶(jing)圓(yuan)檢查裝置。

UltraINSP晶圓(yuan)表面缺陷(xian)檢(jian)測(ce)(ce)系統(tong)是(shi)表面缺陷(xian)檢(jian)測(ce)(ce)的(de)蕞完善的(de)國產(chan)化替代產(chan)品，系統(tong)包括(kuo)四(si)個模塊可以檢(jian)測(ce)(ce)所有晶圓(yuan)表面并(bing)同(tong)步采集數據：晶圓(yuan)正面、背面、邊緣缺陷(xian)檢(jian)測(ce)(ce)模塊；輪廓、量測(ce)(ce)和檢(jian)查模塊；

iFocus是一款用(yong)(yong)(yong)于晶(jing)圓外觀缺陷檢(jian)測(ce)設備，利用(yong)(yong)(yong)STI的2D/3D視(shi)覺檢(jian)測(ce)系(xi)統，采(cai)(cai)用(yong)(yong)(yong)雙2D Camera同時采(cai)(cai)集亮區和暗區照片分析(xi)特征缺陷；True 3D技術(shu)，可以精(jing)確(que)量測(ce)Bumping高度，Bumping共(gong)面性等特征。可適用(yong)(yong)(yong)于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產品外觀檢(jian)測(ce)。

LODAS™ – LI系(xi)列是列真(zhen)株(zhu)式會(hui)社(she)推出的一款(kuan)FPD Photomask缺陷檢查裝置(zhi)。

LODAS™ – BI12是列(lie)真株式會社推(tui)出的一(yi)款(kuan)GlassWafe缺陷檢查(cha)裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。