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晶圓缺陷檢測
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UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統是表面缺陷檢測的蕞完善的國產化替代產品，系統包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數據：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；
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