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EVG光刻機
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研發(fa)(fa)和(he)小(xiao)規模生產中的單晶(jing)圓(yuan)光刻膠加工(gong)。$nEVG101光刻膠勻膠機在單室(shi)設計上可以滿足研發(fa)(fa)工(gong)作(zuo),與EVG的自動化系統(tong)*兼容。EVG101支持大300 mm的晶(jing)圓(yuan),可配置為旋涂或(huo)噴涂和(he)顯(xian)影。
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