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晶(jing)圓(yuan)幾何形貌(mao)及參數紅外干(gan)涉自(zi)動檢測(ce)機(ji)使用高精度高速紅外干(gan)涉點傳感器(qi)實現(xian)晶(jing)圓(yuan)的(de)非接觸式(shi)測(ce)量，結合高精度運動模組及晶(jing)圓(yuan)機(ji)械(xie)手可實現(xian)晶(jing)圓(yuan)形貌(mao)的(de)亞微米級精度的(de)測(ce)量，該系統(tong)適用于晶(jing)圓(yuan)多種材質(zhi)的(de)晶(jing)圓(yuan)，包括藍(lan)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實現(xian)的(de)尺(chi)寸(cun)與(yu)結構測(ce)量內(nei)容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測(ce)試)。

晶(jing)圓(yuan)幾(ji)何(he)形貌及參數(shu)自動(dong)檢(jian)測(ce)機PLS- F1000/ F1002 是一款(kuan)專(zhuan)門測(ce)量(liang)晶(jing)圓(yuan)厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shu)的自動(dong)晶(jing)圓(yuan)形貌檢(jian)測(ce)及分選機。

晶圓(yuan)幾何形貌測(ce)(ce)量(liang)(liang)及參數自動(dong)檢測(ce)(ce)機使用高(gao)(gao)精(jing)(jing)度高(gao)(gao)速光譜(pu)共焦雙探(tan)頭對射傳感器實(shi)現晶圓(yuan)的非(fei)接(jie)觸式(shi)測(ce)(ce)量(liang)(liang)，結合高(gao)(gao)精(jing)(jing)度運動(dong)模(mo)組及晶圓(yuan)機械手(shou)可(ke)實(shi)現晶圓(yuan)形貌的亞微米級精(jing)(jing)度的測(ce)(ce)量(liang)(liang)，該系統適用于晶圓(yuan)多種材質的晶圓(yuan)，包(bao)括藍寶石(shi)、GaAs、GaN、SiC 以(yi)及 Si 等；可(ke)以(yi)實(shi)現的尺寸與結構(gou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)內容(rong)包(bao)括：包(bao)括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測(ce)(ce)試(shi))。